Минпромторг России направит более 1,43 млрд рублей на создание отечественной автоматизированной установки для жидкостной химической обработки кремниевых пластин диаметром до 200 мм. Об этом пишет ТАСС.
Новое оборудование должно обеспечивать автоматическое выполнение операций травления, очистки и сушки пластин диаметром 100, 150 и 200 мм, используемых в производстве микроэлектроники. Производительность установки — не менее 100 пластин за один цикл, при этом она должна работать как минимум с восемью различными химическими реагентами и деионизированной водой, включая функцию автоматического выбора реагента. Ключевые элементы установки должны быть произведены в России. Использование импортных комплектующих допускается только при согласовании с заказчиком. Разработку необходимо завершить до 30 ноября 2029 года. Победитель конкурса был определён 19 июня, однако его данные в Единой информационной системе в сфере закупок не раскрываются.
Читайте также: «Минпромторг запустил господдержку роботизации 2026: субсидии, кредиты и приоритеты».


